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Services und Engineering: IV

Antihaft-Beschichtungs  Service:

applied microSWISS bietet seinen Kunden Antihaft-Beschichtungen (ASL = Antisticking-layer) sowohl für Abformwerkzeuge als auch für Lithographie-Masken an.

Antihaft-Beschichtungen sind eine sehr nützliche Erweiterung für unsere Abformwerkzeuge; insbesondere bei anspruchsvollen Replikationsprozessen mit geometrie-bedingt erschwerter Entformung.

Antihaft-Beschichtungen können auch für Lithographie-Masken sehr nützlich sein. Eine zusätzliche ASL-Beschichtung auf einer Maske ist eine ausgezeichnete Massnahme für die Reduzierung der Trennkraft von klebrigen (meist dicken) Photolacken.
Diese Beschichtung ist sehr nützlich bei der Vermeidung von Partikelkontamination oder Lackabrissen auf Masken. Dadurch kann die Masken-Nutzungsdauer erheblich gesteigert werden. Gleichzeitig können Resistfehlstellen vermieden werden. Das ist sind kritische Aspekte bei sehr dicken Photolack-Schichten (z.B. SU-8, dicke AZ-Resiste) und deren langen Belichtungszeiten.

Unserer ASL-Beschichtungen erlauben weiterhin die Verwendung von organischen Lösungsmitteln wie Aceton oder Isopropanol für die unmittelbare Maskenreinigung. Antihaft-Beschichtungen basieren chemisch auf Si-F. Sie lassen sich bei Bedarf auffrischen durch plasma-chemisches entfernen und neu beschichten.

Spezifikationen:

Type der ASL-Beschichtung:
Fluoro-Silane.
Zusätzliche SiO2 Grundbeschichtung kann erforderlich sein (Dicke = 20 - 50nm)

ASL-Beschichtung verfügbar auf folgenden Substratmaterialien:
Glass (e.g.Sodalime or Quarz for lithography-masks)
Silicon, Nickel, Steel

Substratformate:
Runde Substrate: ø100 - ø300mm
Quadratische Substrate: 4", 5", 6", 7", 9"
Abformwerkzeuge: jede beliebige Form des Shim, Stempel oder Einsatz

Prozessflexibilität:
Andere Materialien oder Substratformate auf Anfrage.

Fallstudie 1: Lithographie-Masken mit Antihaft-Beschichtung
ASL-Funktionalisierung einer Lithographie-Masken:

1. Kunde sendet Maskdesign (CAD-Datei, Skizze,...)
2. applied microSWISS kümmert sich um die Herstellung des Maskset
3. SiO2 Beschichtung (Dicke = 50nm) auf Maske
4. CVD-Prozessierung der F-Si Beschichtung
5. Verpacken der modifizierten Maske im Original-Maskenbox
6. Versand mit Zusatzhinweisen für Handling und Lagerung
Fallstudie 2: Ni-Heissprägestempel mit Antihaft-Beschichtung
Herstellung eines Heissprägestempels mit ASL-Funktionalisierung:

1. Kunde sendet Maskdesign (CAD-Datei, Skizze,...) für Prägetempel
2. applied microSWISS kümmert sich um die Herstellung des Prägetempels
3. SiO2 Beschichtung (Dicke = 50nm) auf Maske
4. CVD-Prozessierung der F-Si Beschichtung
5. Verpacken des modifizierten Prägetempels
6. Versand mit Zusatzhinweisen für Handling und Lagerung

Website aktualisiert: 07-04-2020 // Copyright © 2020 applied microSWISS GmbH