Services und Engineering: II

UV-Lithographie Service:

Wir bieten unseren Kunden diesen Service an, welcher aus folgenden Prozesschritten besteht:

  Maskdesign und Herstellung
  Resist-Belackung und Softbake
  UV-Belichtung und Entwicklung
  Mikroskop-Inspektion (Endkontrolle)

Wir verfügen über umfassendes Fachwissen im Bereich Photoresist-Strukturierung. Dieser Prozess beginnt mit Mask-Engineering und Design, führt über Substrat-Prozessierung bis zur Endkontrolle des strukturierten Substrates.

Wir verstehen die Wichtigkeit dieses Prozess-Verständnisses und sind sehr stolz darauf. Aus diesem Grund pflegen, erweitern und verbessern dieses Wissen ständig.

Neue Photolacke werden bei uns in enger Zusammenarbeit mit Herstellern von Photochemikalien getestet. Das erlaubt uns bei Neuentwicklungen stets auf dem neusten Stand zu sein.

Wir unternehmen grosse Anstrengungen in Bezug auf die Vermeidung von Partikeln. Unser Lithographie-Bereich im Reinraum ist deshalb entsprechend aufwändig eingerichtet und mit langjähriger Arbeitserfahrung kombiniert. Das ermöglicht uns eine qualitativ hochstehende Prozessierung von Wafer, Glasplatten und anderen Kundenspezifischen Substraten.

1: Prozessierter Wafer mit 500µm hohen SU-8 Strukturen, bereit für die Galvanoformung.

2: Profilometer-scan einer entwickelten eines Mikrofluidik-Design.

3: 5inch Maske bereit für die Produktion.

4: 7 inch Maskenhalter im Maskaligner eingebaut; bereit für die Belichtungen

5: Profilometer-scan einer entwickelten eines Mikrofluidik-Design.