Ein Prozess - verschiedene Möglichkeiten für innovative Mikrobauteile
Vorstellung von 4 Kategorien:
Hochauflösende Düsenplatten:
applied microSWISS steigert die Herstellung von Düsenplatten auf ein neues Level an Innovation.
Konventionelle Herstellmethoden basieren auf dem kontrollierten überwachsen einer Photoresist-Struktur während der Galvanik. Andere Verfahren basieren auf Laserschneiden, um die Düsenöffnungen herzustellen. Beide Verfahren haben Nachteile in der kritischen Ausführung der Düsenöffnung wie die Geometrie der Düse, Düsenabstand und vor allem Oberflächen-Rauheit (Laser-induzierte Spritzer, Kantenaufbau).
Unsere Düsenplatten werden nach dem sehr vielseitigen UV-LiGA Prozess hergestellt. Dabei werden die Düsenöffnungen in ihrer kompletten Höhe und Geometrie durch dicken Photoresist definiert. Dadurch werden folgende technischen Nachteile elegant gelöst:
• Grosse Gestaltungsfreiheit der Düsengeometrie
• Zylindrische oder konischer Düsen-Querschnitt
• Extrem glatte Oberflächen-Rauheit (Ra = 8 -10nm)
Material: Nickel-Phos12 (580HV), Photoepoxy, oder Kombination von beidem
Mikrostrukturierte Düsenplatten
Hochauflösende Uhrenkomponenten:
applied microSWISS steigert die Herstellung von mikrostrukturierten Uhrenkomponenten auf ein neues Level an Innovation und Designfreiheit
Unsere Uhrenkomponenten werden nach dem sehr vielseitigen UV-LiGA Prozess hergestellt.
Dabei wird eine invertierte Form des Bauteils in einem dicken Photoresist erzeugt und anschliessend galvanisch aufgefüllt.
Mehr als bei allen anderen vorgestellten Kategorien werden an Mikrobauteile für Uhrenkomponenten die höchsten Ansprüche an Strukturdefinition und vertikale Seitenwände gestellt. Dies mit dem Ziel, die mechanische Funktion perfekt zu erfüllen
• Grosse Gestaltungsfreiheit der Geometrie
• Vertikales Seitenwandprofil
• Extrem glatte Oberflächen-Rauheit (Ra = 8 -10nm)
• Möglichkeit weiterer Veredelung (Verschleiss-Schutz, Ästhetik)
Material: Nickel-Phos12 (580HV), nicht-magnetisch, rostfrei
Kollektion von unterschiedlichen mikromechanischen Uhrenkomponenten
Mikrostrukturierte Endoskopie-Werkzeuge:
Der wesentliche Unterschied von mikrostrukturierten Endoskopie-Werkzeuge zu Uhrenkomponenten liegt in deren Anwendung und den spezifischen Anforderungen.
Unsere mikrostrukturierten Endoskopie-Werkzeuge werden nach dem sehr vielseitigen UV-LiGA Prozess Verfahren hergestellt.
Dabei wird eine invertierte Form des Bauteils in einem dicken Photoresist erzeugt und anschliessend galvanisch aufgefüllt.
Mehr als die anderen Kategorien können bei mikrostrukturierten Endoskopie-Werkzeuge bestimmte Oberflächen-Modifikationen gefordert werden, um physiologische Anforderungen oder medizinische Kompatibilität zu erfüllen:
• Grosse Gestaltungsfreiheit der Geometrie
• Vertikales Seitenwandprofil
• Extrem glatte Oberflächen-Rauheit (Ra = 8 -10nm)
• Biokompatibilität durch Beschichtung (Au, Pt, Pd, etc.)
Material: Nickel-Phos12 (580HV), rostfrei, optionale PVD-Beschichtungen
Musterkollektion an unterschiedlichen mikrostrukturierten Endoskopie-Werkzeugen
Hochauflösende Schattenmasken:
applied microSWISS steigert die Herstellung von mikrostrukturierten Schattenmasken auf ein neues Level an Innovation und Designfreiheit.
Konventionelle Herstellmethoden basieren auf dem kontrollierten überwachsen einer Photoresist-Struktur während der Galvanik. Andere Verfahren basieren auf Laserschneiden, um die Schattenmasken herzustellen. Beide Verfahren haben Nachteile in der kritischen Ausführung der Masken wie die Geometrie der Öffnungen, minimale Abstände und vor allem Oberflächen-Rauheit (Laser-induzierte Spritzer, Kantenaufbau).
Unsere hochauflösenden Schattenmasken werden nach dem sehr vielseitigen UV-LiGA Prozess hergestellt.
Dabei wird eine invertierte Form des Bauteils in einem dicken Photoresist erzeugt und anschliessend galvanisch aufgefüllt.
Gleich wie bei der Herstellung von Düsenplatten kommt hier die exklusive Herstellmöglichkeit von konischen Querschnitten (durch geneigte Seitenflächen) zur Anwendung. Damit lassen sich Abschattungseffekte am Rand der Schattenmaske bei PVD und CVD-Prozessen reduzieren.
• Grosse Gestaltungsfreiheit
• Zylindrische oder konischer Querschnitt der Schattenmaske
• Extrem glatte Oberflächen-Rauheit (Ra = 8 -10nm)
• Exzellente Kantendefinition
Material: Nickel, Nickel-Phos12 (580HV)
REM-Detail einer Schattenmasken-Struktur mit 15° Seitenflanken-Neigung bei einem Siemens-Stern
