Rollpräge-Shims
Charakteristika:
Flexible Nickel-shims mit einer Dicke von 0.25 – 0.5mm.
Diese dünnen Shims werden auf heizbare Metallzylinder in Rollpräge-Anlagen aufgespannt. Die Hauptanwendung besteht im Rolle-zu-Rolle prägen von Nanostrukturen (Mikrooptik, Hologramme oder andere Sicherheits-Merkmale)
1: Rollpräge-Shim, strukturierte Frontseite und geschliffene Rückseite
2: Rollpräge-Shim, strukturierte Frontseite und geschliffene Rückseite
3: Rollpräge-Shim, strukturierte Frontseite und geschliffene Rückseite
4: Master (Messing/NiP) und Sub-Master (Ni)
5: Rollpräge-Shim, strukturierte Frontseite
6: Rollpräge-Shim, geschliffene Rückseite
7: Rollpräge-Shim, strukturierte Frontseite und geschliffene Rückseite
8: Rollpräge-Shim, strukturierte Frontseite
9: Rollpräge-Shim, strukturierte Frontseite und geschliffene Rückseite
10: Rollpräge-Shim, strukturierte Frontseite und geschliffene Rückseite
11: Rollpräge-Shim, strukturierte Frontseite
12: Inspektion einer Retroreflektor-Struktur bei 200x, erhabene Pyramiden
13: Inspektion einer Retroreflektor-Struktur bei 200x, erhabene Pyramiden
14: Inspektion einer Retroreflektor-Struktur bei 200x, vertiefte Pyramiden
15: Inspektion einer Retroreflektor-Struktur bei 200x, vertiefte Pyramiden
Material: Galvanisiertes Nickel
Anwendungen: Nano- und Mikrooptik, Sicherheitstechnik, Mikrofluidik
1. Herstellung eines Messing/NiP =» Master
2. Vorbereitung des Masters für die Nickel-Galvanik =» Sub-master (Struktur invertiert und gespiegelt)
3. Vorbereitung des Sub-Masters für die Nickel-Galvanik eines dünnen Shims =» Arbeitskopie (Struktur und Seitenrichtigkeit identisch mit Master)
Mechanische Nachbearbeitung des Shims für die Montage auf dem Prägezylinder
1. UV-Lithographie mit einem Photoresist beschichteten Substrat =» Master
2. Vorbereitung des Masters für die Nickel-Galvanik =» Sub-master (Struktur invertiert und gespiegelt)
3. Vorbereitung des Sub-Masters für die Nickel-Galvanik eines dünnen Shims =» Arbeitskopie (Struktur und Seitenrichtigkeit identisch mit Master)
4. Mechanische Nachbearbeitung des Shims für die Montage auf dem Prägezylinder.
Spezifikationen:
- Minimale Strukturgrösse ≥ 70nm
- Strukturhöhe / Uniformität = 50nm – 50µm / 5%
- EXKLUSIV: Einstellbarer Neigungswinkel der Seitenwände bis zu 15° (erleichtertes entformen)
- Herstellung nach angepasstem LiGA-Verfahren
- Mehrlagige Struktur-Architekturen möglich (z.B. Mikro+Nano)
- Richtgenauigkeit: Lage-zu-Lage ≤ 3μm
- Richtgenauigkeit: Mikrostruktur zur Shim-Geometrie ≤ 20μm
- Typ. Dickenbereich: 0.25 – 0.5mm
- Maximale Shim Dimensionen = 300 x 300mm
- Maximale strukturierte Fläche = 200 x 200mm
- Parallelität Frontseite-zu-Rückseite ≤ 10μm (Rückseite: geschliffen)
- Robustes Handling möglich
- Einbau-fertiger Shim gemäss Kundenzeichnung
- Kontouren drahterodiert (Toleranz: ±10µm)
- Optional: Antihaft-Beschichtung (Fluor-basiert)
- Optional: Verschleiss-Schutz Beschichtung (TiN)
- Kompatibilität zu Diamant-Bearbeitung
- Kompatibilität zu allen gängigen Strukturierungsmethoden: - e-beam Resiste (PMMA, HSQ)
- XIL-Resiste
- AZ Positiv-ton Resiste, Microchem SU-8
- heissgeprägte Polymere,...