Einsätze für Spritzgiessen
Charakteristika:
Master mit einem Dickenbereich von 3 – 8mm werden üblicherweise auf Spritzgiess-Anlagen verwendet. Diese Werkzeuge werden in ein grösseres Spritzgiess-Werkzeug eingebaut (oder eingesetzt), wodurch sich der Name “Einsatz ”. Grossflächige Einsätze haben üblicherweise eine höhere Dicke, weil damit eine höhere Steifigkeit erreicht wird. Damit kann ein durchbiegen während des Spritzgiess-Prozesses vermindert oder vermieden werden. Die Befestigung des Einsatzes wird mittels Klemmrahmen oder Vakuum im Stammwerkzeug befestigt. Ganzflächiger physischer Kontakt ist auch hier sehr wichtig, um gleichmässiges Abformverhalten zu erreichen.
1: Einsatz mit zahlreichen drahterodierten Öffnungen und einer Verschleissschutz-Beschichtung (TiN)
2: Satz von einbaufertigen Einsätzen mit 2-stufigem Mikrofluidik-Design.
3: Einbaufertiger Einsatz mit 2-stufigem Mikrofluidik-Design und zahlreichen drahterodierten Öffnungen.
4: Einbaufertiger Einsatz mit 2-stufigem Mikrofluidik-Design mit geneigten mikrostrukturierten Seitenwänden
5: Nahaufnahme eines einbaufertigen Einsatzes mit 2-stufigem Mikrofluidik-Design (Höhe = 350µm)
6: Einbaufertiger Einsatz mit 2-stufigem Mikrofluidik-Design mit geneigten mikrostrukturierten Seitenwänden
7: Einbaufertiger Einsatz mit 1-stufigem Mikrofluidik-Design (Master vom Kunden erhalten).
8: Einbaufertiger Einsatz mit 1-stufigem Mikrofluidik-Design.
9: Einbaufertiger Einsatz mit 1-stufigem Mikrofluidik-Design und zahlreichen drahterodierten Elementen.
10: Spritzgegossenes Einweg-Bauteil in medical-grade Polymer
11: Spritzgegossenes Einweg-Bauteil in medical-grade Polymer
12: Satz an Einsätzen mit 2-stufigen Mikrofluidik-Design
13: Satz an Einsätzen mit 2-stufigen Mikrofluidik-Design und einer Verschleissschutz-Beschichtung (TiN)
14: Nickel-Einsatz mit 350µm hohen, vorstehender Mikrostruktur
15: Einsatz mit 200nm Strukturbreiten (PHABLE).
16: Einsatz mit 250nm Strukturbreiten (PHABLE).
17: Inspektion (AFM-plot) eines nano-optischen Gitters auf einem Nickel-Einsatz
REM-Aufnahme eines 70nm Dot-Array auf einem Ni/Ir Hybrid-Einsatzes (REM mit Erlaubnis von Eulitha AG)
19: Nickel-Einsatz mit paarweisen Fresnel-Zonenplatten
20: Set of injection molds with cylindrical lens-arrays
21: Satz Nickel-Einsätze mit Zylinderlinsen -Feldern
22: Spritzgegossene Kunststoffteile mit Zylinderlinsen -Feldern
23: CD-Single-formatierter Spritzgiess-Einsatz mit Sub-Mikrometer optischen Gitter
24: CD-Single-formatierter Spritzgiess-Einsatz mit Sub-Mikrometer optischen Test-Gitter
25: Spritzgegossene Kunststoffteile mit Sub-Mikrometer optischen Test-Gitter
26: Spritzgegossene Kunststoffteile mit Sub-Mikrometer optischen Test-Gitter
27: Spritzgegossene Kunststoffteile mit Sub-Mikrometer optischen Test-Gitter
28: 2-stufiger Mikrofludik-Einsatz mit massiver Nickel-Rückplatte
29: 2-stufiger Mikrofludik-Einsatz mit massiver Nickel-Rückplatte
30: Einsatz mit 50µm tiefen Strukturen und geneigten Mikrostruktur-Seitenwänden
31: REM-Aufnahme eines Photoresist-Testmusters mit vertikalen Mikrostruktur-Seitenwänden und perfekter Abbildung.
32: REM-Aufnahme eines Dot-Testmusters mit geneigten Mikrostruktur-Seitenwänden
33: REM-Aufnahme eines Richtkreuzes mit geneigten Mikrostruktur-Seitenwänden
34: Mikroskop-Inspektion eines Nickel-Einsatze mit Mikrolinsen-Array nach 700'000 Abformungen !!
35: Profilometer-scan einer Mikrolinsen-Struktur auf einem Resist-Master.
36: Weisslicht-Interferometer-Scan eines Ni/Stahl-Hybrid Einsatzes.
37: Kontaktwinkel-Messung nach Oberflächenbehandlung mit Antihaft-Beschichtung.
Material: Galvanisiertes Nickel oder rostfreier Stahl
Anwendungen: Nano- und Mikrooptik, Sicherheitstechnik, Mikrofluidik.
1. Konvertierung der Kundendaten in ein Maskendesign.
2. Herstellung eines Maskensatzes
3. UV-Lithographie mit einem Photoresist beschichteten Substrat =» Resist-Master
4. Vorbereitung des Masters für die Nickel-Galvanik =» Nickel-master (Struktur invertiert und gespiegelt)
5. Entfernung von Wafer und Resist
6. Komplette mechanische Nachbearbeitung des Einsatzes für die Montage auf der Spritzgiess-Anlage.
1. Vorbereitung des Kunden-Substrates für die Nickel-Galvanik =» Nickel-master
2. Entfernung von Wafer und Resist
3. Komplette mechanische Nachbearbeitung des Einsatzes für die Montage auf der Spritzgiess-Anlage.
1. Vorbereitung des Masters für die Nickel-Galvanik =» Nickel-master
2. Entfernung von Wafer und Resist
3. Vorbereitung des Masters für die Nickel-Galvanik =» Nickel-Kopie
4. Komplette mechanische Nachbearbeitung des Einsatzes für die Montage auf der Spritzgiess-Anlage
Spezifikationen:
- Minimale Strukturgrösse ≥ 70nm
- Strukturhöhe = 70nm - 500μm
- Strukturhöhen-Uniformität = 3 – 5%
- EXKLUSIV: Einstellbarer Neigungswinkel der Seitenwände bis zu 15° (erleichtertes entformen)
- Herstellung nach angepasstem LiGA-Verfahren
- Mehrlagige Struktur-Architekturen möglich (z.B. Mikro+Nano)
- Richtgenauigkeit: Lage-zu-Lage ≤ 3μm
- Richtgenauigkeit: Mikrostruktur zur Stempel-Geometrie ≤ 20μm
- Typ. Dickenbereich des Einsatzes: 3 - 8mm
- Maximale Stempel-Dimensionen = 300 x 300mm
- Maximale strukturierte Fläche = 200 x 200mm
- Parallelität Frontseite-zu-Rückseite ≤ 20μm (Rückseite: geschliffen)
- Robustes Handling möglich
- Integration mechanischer Befestitungshilfen (Gewinde, Absätze)
- Einbau-fertiger Einsatz gemäss Kundenzeichnung
- Kontouren drahterodiert (Toleranz: ±10µm)
- Optional: Antihaft-Beschichtung (Fluor-basiert)
- Optional: Verschleiss-Schutz Beschichtung (TiN)
- Kompatibilität zu allen gängigen Strukturierungsmethoden: - e-beam Resiste (PMMA, HSQ)
- XIL-Resiste
- AZ Positiv-ton Resiste, Microchem SU-8
- heissgeprägte Polymere,...